당사는 LED 고온용 Shower head를 개발하여 LED 장비 회사에 공급했습니다.
미세 Hole 가공 후 냉각유로가 있는 Pattern은 일반용접이 아닌 Metal 계면접합으로
국내에서 최초로 성공하여 개발하였습니다. LED MO CVD용으로 국내 최초 개발에 성공하였습니다.
-기체 상태의 반응 가스를 고온의 온도에서 분해한 후 화학적 반응을 일으켜 기판위에 층(layer)을
형성하는 장치를 고온 CVD 라 한다.
-고온CVD 에서 균일하게 층을 증착하는 가장 중요한 요소는 균일하게 공정 가스를 반응로에 분사하는 것 이다.
-공정 가스를 균일하게 분사 하기 위해서 샤워헤드라는 핵심 부품을 사용하나,
반응로 내부에 위치하기 때문에 열변형이나 누출(Leak) 없는 샤워헤드 제작이 필요
-정형화된 제작 방식은 공정 가스 공급과 냉각의 역할을 하는 각각의 구조를 결합하기 때문에 샤워헤드의 구조를 복
잡하게 하고, 비용 증가를 초래
-가스 공급 및 냉각 역할을 한번에 가능 하도록 집적 시키고, 제작 방식도 단순·용이 하도록 표준화 하는것이
본 발명의 목적임.
문의사항: 010-4916-4948(김봉관배상)
